氬氣生產(chǎn)廠家介紹說本裝置吸附干燥器對(duì)氬氣進(jìn)行深度脫水，可與區(qū)熔硅晶爐配套使用可用于激光器、濺射、半導(dǎo)體生產(chǎn)，氣相色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù)：
1、處理氣量： 5~500Nm/h
2、純化后氬氣純度 99.9995%
純氬技術(shù)要求應(yīng)符合下表的規(guī)定符合：GB/T4842-2006項(xiàng)目
原料氣指標(biāo) 純氬指標(biāo) 純化后指標(biāo)
氬氣純度(體積分?jǐn)?shù))/10-2 99.99% 99.999% 99.9995%
氫氣含量(體積分?jǐn)?shù)) ≤ ppm 5 1.0 0.5
氧氣含量（體積分?jǐn)?shù)）≤ ppm 10 1.5 1.0
氮含量（體積分?jǐn)?shù)）≤ ppm 50 4 2
烴類含量（體積分?jǐn)?shù)）≤ ppm 20 1 0.5
水份含量（體積分?jǐn)?shù)）≤ ppm 15 3 2.0